合成石英光掩模基板KNFS6025

面膜毛坯-Shin-Etsu MicroSi

用于ArF高NA和浸没式光刻的“ KNFS6025”

描述

材料特性

属性
激光光源氩气
波长193.4纳米
比重2.8
导热系数(W / m°K)3.0