基材
Shin-Etsu生产的石英基板在远紫外线范围内具有出色的渗透性和低热膨胀性。信越石英基板最常用作光学光刻和其他需要超高纯度和高精度抛光基板的应用中的光掩模基板。就抛光基板而言，石英基板比普通玻璃基板具有优势，因为石英基板比同类玻璃基板具有更好的透光性和耐热性。
合成石英基板和晶圆TDS（2.04MB） 
石英基板的特点：
超高纯度合成石英基板表面缺陷：
- 集成电路应用
- SZS等级≤1µm
- SMS等级≤2µm
- LCD应用
- SMS等级≤2µm
石英基板产品：
合成石英光掩模基板，用于：
我知道了; g线，I线，KrF（248nm）光刻； ArF（193 nm）光刻； F2（157nm）光刻。
合成石英光掩模基板，用于：
LCD; TFT;彩色滤光片
