石英晶片& 基材

信越晶圆具有出色的耐热性和透光性。这些晶圆的主要应用是用于高温多晶硅TFT-LCD应用以及需要高纯度,高精度抛光的其他应用。

Shin-Etsu生产的石英基板在远紫外线范围内具有出色的渗透性和低热膨胀性。信越石英基板最常用作光学光刻和其他需要超高纯度和高精度抛光基板的应用中的光掩模基板。就抛光基板而言,石英基板比普通玻璃基板具有优势,因为石英基板比同类玻璃基板具有更好的透光性和耐热性。

信越MicroSi一直致力于发展纳米光刻部门,以利用最新的纳米光刻技术开发纳米电路器件。我们根据纳米电路技术的最新成果,开发了用于纳米压印模板的合成石英基板新系列。我们的纳米压印模板提供多种尺寸,包括可根据客户要求的特定需求定制尺寸。除了纳米压印模板,我们的其他纳米电路设备还包括半导体,存储设备,光学部件,生物芯片和各种MEMS设备。