皮层
凭借我们在各种电子材料的设计和制造中开发的技术专长,信越提供了用于防护膜光罩的极高质量防护膜。
最近,信越公司已经在聚合物涂层的框架中开发了一种防护膜材料,用于离子控制和A2膜用于浸入式ArF光刻。信越MicroSi提供三种普通的防护薄膜材料等级;它们设计用于KRF,干式ARF和浸入式ARF准分子激光光刻。这些防护膜具有以下优点:
- 极低的颗粒规格限制
- 延长使用寿命
- 延长防护膜光罩和标线片的寿命
产品名称:
产品编号示例:

1.口罩尺寸 | 6:6英寸口罩 |
2.扫描仪类型 | 答:ASML,否:尼康(&Canon) |
3.框架类型 | (从1,2,3…9,A,B,C…开始) |
4.薄膜 僵持 | H:普通支脚,L:下部支脚 |
5.框架选项 | F:阳极氧化&装有过滤器,N:阳极氧化&无过滤器,B:涂有聚合物& filter attached] |
6.波长 | 例如:KrF,AX:ArF,AK: ArF / KrF dual,A2:浸入式ArF |
7.等级/粘合剂选项 | N:普通弓形有机硅粘合剂,E:低粘性平型有机硅粘合剂, B:拱形丙烯酸粘合剂J:平面丙烯酸粘合剂 |
