皮层
凭借我们在各种电子材料的设计和制造中开发的技术专长，信越提供了用于防护膜光罩的极高质量防护膜。
最近，信越公司已经在聚合物涂层的框架中开发了一种防护膜材料，用于离子控制和A2膜用于浸入式ArF光刻。信越MicroSi提供三种普通的防护薄膜材料等级；它们设计用于KRF，干式ARF和浸入式ARF准分子激光光刻。这些防护膜具有以下优点：
- 极低的颗粒规格限制
- 延长使用寿命
- 延长防护膜光罩和标线片的寿命
产品名称：
产品编号示例：
| 1.口罩尺寸 | 6：6英寸口罩 |
| 2.扫描仪类型 | 答：ASML，否：尼康（&Canon) |
| 3.框架类型 | （从1,2,3…9，A，B，C…开始） |
| 4.薄膜 僵持 | H：普通支脚，L：下部支脚 |
| 5.框架选项 | F：阳极氧化&装有过滤器，N：阳极氧化&无过滤器，B：涂有聚合物& filter attached] |
| 6.波长 | 例如：KrF，AX：ArF，AK： ArF / KrF dual，A2：浸入式ArF |
| 7.等级/粘合剂选项 | N：普通弓形有机硅粘合剂，E：低粘性平型有机硅粘合剂， B：拱形丙烯酸粘合剂J：平面丙烯酸粘合剂 |
