皮层

凭借我们在各种电子材料的设计和制造中开发的技术专长,信越提供了用于防护膜光罩的极高质量防护膜。

最近,信越公司已经在聚合物涂层的框架中开发了一种防护膜材料,用于离子控制和A2膜用于浸入式ArF光刻。信越MicroSi提供三种普通的防护薄膜材料等级;它们设计用于KRF,干式ARF和浸入式ARF准分子激光光刻。这些防护膜具有以下优点:

产品名称:

产品编号示例:

1.口罩尺寸6:6英寸口罩
2.扫描仪类型答:ASML,否:尼康(&Canon)
3.框架类型 (从1,2,3…9,A,B,C…开始)
4.薄膜
僵持
H:普通支脚,L:下部支脚
5.框架选项F:阳极氧化&装有过滤器,N:阳极氧化&无过滤器,B:涂有聚合物& filter attached]
6.波长例如:KrF,AX:ArF,AK: ArF / KrF dual,A2:浸入式ArF
7.等级/粘合剂选项N:普通弓形有机硅粘合剂,E:低粘性平型有机硅粘合剂,
B:拱形丙烯酸粘合剂J:平面丙烯酸粘合剂
薄膜图表1-Shin-Etsu MicroSi