PBN / PG晶圆加热器

PBN / PG加热器结合了三层超高纯陶瓷PBN-PG-PBN,以生产先进的加热元件系统。 PBN(热解氮化硼)和PG(热解石墨)都是通过高温CVD制造的。这些高性能元件具有出色的热性能,包括高导热率和各向异性。

产品描述