搜球吧直播nba直播 I803D和搜球吧直播nba直播-I801

光刻胶-信越MicroSi

产品描述

搜球吧直播nba直播-I803D耐干蚀数据

膜厚度:250 nm

预烘烤:110°Cx90秒

Exp .: 40mJ / cm2(NSR-S203B,NA = 0.68,σ= 0.75)掩模:200nm(行距= 1/10)

聚焦:-0.3µm(最佳聚焦)

PEB:110°C x 90秒开发:60秒x 1个水坑(SSFD-179N [TMAH = 1.79%])

搜球吧直播nba直播-I801耐干蚀数据

膜厚度:250 nm

预烘烤:110°Cx90秒

Exp .: 30mJ / cm2(NSR-S203B,NA = 0.68,σ= 0.75)掩模:200nm(行距= 1/10)

聚焦:-0.3µm(最佳聚焦)PEB:110°C x 90秒开发度:60秒x 1个水坑(SSFD-179N [TMAH = 1.79%])