基材

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Shin-Etsu生产的石英基板在远紫外线范围内具有出色的渗透性和低热膨胀性。信越石英基板最常用作光学光刻和其他需要超高纯度和高精度抛光基板的应用中的光掩模基板。就抛光基板而言,石英基板比普通玻璃基板具有优势,因为石英基板比同类玻璃基板具有更好的透光性和耐热性。

合成石英基板和晶圆TDS(2.04MB)

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石英基板的特点:

超高纯度合成石英基板表面缺陷:

  • 集成电路应用
  • SZS等级≤1µm
  • SMS等级≤2µm
  • LCD应用
  • SMS等级≤2µm

石英基板产品:

合成石英光掩模基板,用于:
我知道了; g线,I线,KrF(248nm)光刻; ArF(193 nm)光刻; F2(157nm)光刻。

合成石英光掩模基板,用于:
LCD; TFT;彩色滤光片

COVID-19声明:
此时,Shin-Etsu MicroSi,Inc.已打开并正常运行。我们将继续密切监视局势,并遵循公共卫生官员,疾病预防控制中心,世界卫生组织以及地方和美国政府的指导,迅速采取行动以采取适当的预防措施。我们可能会调整正常的操作程序以支持社会疏离准则。我们将继续向您通报任何进展。