皮层

pelicles凭借我们在各种电子材料的设计和制造方面开发的技术专长,信越提供了用于防护膜光罩的极高质量防护膜。

最近,信越公司已经在聚合物涂层的框架中开发了一种防护膜材料,用于离子控制和A2膜用于浸入式ArF光刻。信越MicroSi提供三种普通的防护薄膜材料等级;它们设计用于KRF,干式ARF和浸入式ARF准分子激光光刻。这些防护膜具有以下优点:

  • 极低的颗粒规格限制
  • 延长使用寿命
  • 延长防护膜光罩和标线片的寿命

产品名称:

产品编号示例:

product_num

1.口罩尺寸 6:6英寸口罩
2.扫描仪类型 答:ASML,否:尼康(&Canon)
3.框架类型  (从1,2,3起…9, A,B,C…)
4.薄膜
僵持
H:普通支脚,L:下部支脚
5.框架选项 F:阳极氧化&装有过滤器,N:阳极氧化&无过滤器,B:涂有聚合物& filter attached]
6.波长 EX:KrF,AX:ArF,AK:ArF / KrF dual,A2:浸入式ArF
7.等级/粘合剂选项 N:普通弓形有机硅粘合剂,E:低粘性平型有机硅粘合剂,
B:拱形丙烯酸粘合剂J:平面丙烯酸粘合剂

 

 

 

 

COVID-19声明:
此时,Shin-Etsu MicroSi,Inc.已打开并正常运行。我们将继续密切监视局势,并遵循公共卫生官员,疾病预防控制中心,世界卫生组织以及地方和美国政府的指导,迅速采取行动以采取适当的预防措施。我们可能会调整正常的操作程序以支持社会疏离准则。我们将继续向您通报任何进展。