光罩& 皮层

信越MicroSi是用于集成电路的合成光掩模石英基板,用于LCD的合成大型光掩模石英基板以及用于Arf和Krf光刻胶的衰减相移掩模的顶级制造商。二十多年来,我们一直提供稳定优质的石英基板供应。现在,合成石英晶片的直径最大为300mm,可满足客户的广泛要求。

MicroSi的光刻部门还专门生产各种由先进的钼硅二元材料制成的OMOG(玻璃上不透明MoSi)光掩模坯料,该材料可提供卓越的遮光保护,以及用于抗蚀剂工艺的衰减相移掩模是创建ArF,KrF和F2光刻胶所必需的。

皮层

凭借我们在各种电子材料的设计和制造中开发的技术专长,信越提供了用于防护膜光罩的极高质量防护膜。

面膜空白

光掩模坯料是光掩模的基础材料,其在半导体光刻工艺期间用作电路的图案化模板。遮光层形成在基板为合成石英的掩模坯料的表面上。

COVID-19声明:
此时,Shin-Etsu MicroSi,Inc.已打开并正常运行。我们将继续密切监视局势,并遵循公共卫生官员,疾病预防控制中心,世界卫生组织以及地方和美国政府的指导,迅速采取行动以采取适当的预防措施。我们可能会调整正常的操作程序以支持社会疏离准则。我们将继续向您通报任何进展。