PBN / PG 加热器

PBN / PG 陶瓷加热器结合了三层超高纯度陶瓷PBN-PG-PBN,可生产出先进的微陶瓷加热元件系统。我们的PBN加热器(热解氮化硼)和PG加热器(热解石墨)都是通过高温CVD制造的。这些高性能元件在陶瓷加热器中表现出出色的热性能,包括高热导率和各向异性。

PBN / PG 陶瓷加热器数据表(620.75kB)

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结构和制造过程:

PBN和PG的卓越性能已通过化学气相沉积进行了如下组合:

pic1

PBN PG
处理 化学气相沉积
(高温)
(减压)
BCl3 + NH3?BN + 3HCl
化学气相沉积
(高温)
(减压)
CH4 +?C + 2H2
结构体

特性:

纯度
(金属杂质总量)
< 1 ppm < 1 ppm
建议最大用量
温度
3000°C 3600°C

高温(“ a”方向)拉伸强度:

r.t. 410kg / cm2 1050kg / cm2
2000°C 1030公斤/平方厘米 1400公斤/平方厘米
化学惰性 o o
抗热震性 o o
机械加工性 o o
放气 微不足道 微不足道

电阻率:

“ a”方向1000°C 3X107Ωcm 4X10-6Ω厘米
“ c”方向1000°C 3X109Ω·厘米 2X10-3Ω厘米

PBN / PG 性能优势:

  • 微陶瓷加热元件的工作温度为1600°C。
  • 高机械耐久性和尺寸稳定性。
  • 尺寸紧凑。 PBN层提供电绝缘。
  • 可以定制热梯度以满足特定要求。
  • 消除除气和污染。
  • 高抗热震性。
  • 对几乎所有金属,液体和气体具有化学惰性。
  • 提供多种PG加热器和PGN加热器形状。
硅片 长方形 杆/管 杯/船
尺寸(毫米) 最大Ø380
1.0〜3.0
厚度
260 X260 MAX
1.0〜3.0
厚度
260 X260 MAX
1.0〜3.0
厚度
最大Ø300
最大200高度
加热器1 加热器2 加热器3 加热器4
应用领域
  • 半导体衬底加热(MBE,MOCVD,溅射,CVD)
  • 超导体基板加热
  • 分析过程中样品加热
  • 电子显微镜加热样品
  • 熔体加热
  • 金属蒸发过程中的源加热

定制PBN / PG 加热器设计:

所需的最少信息如下:

  1. 形状…电极的尺寸,结构。
  2. 应用的温度和温度梯度。
  3. 应用的气氛。
  4. 能量源。

 

技术数据:

(1)Ø4英寸加热器的加热数据

加热器5

(2)Ø10英寸加热器的温度梯度

加热器6

管式加热器

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