坩埚& 其他 产品展示

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自1926年成立以来,信越化学公司已成为开发和制造多种类型的塑料树脂的全球领导者。这些包括硅,甲基纤维素和聚氯乙烯。我们已经成为半导体硅,合成石英和GGG(ga镓石榴石)的全球领先供应商之一。信越的名字因其为不断发展的高科技行业制造和提供一系列高纯度,高精度和高性能产品的能力而享誉全球。最近,我们推出了一条新的热解氮化硼(PBN)材料系列,包括坩埚,船,棒,晶片,板,管和石墨涂层。

这种高纯度陶瓷在高温下具有出色的耐化学性和强度。 信越MicroSi的PBN是通过专有的化学气相沉积(CVD)工艺制造的,该工艺会产生以下反应:

BCl3 + NH3àBN + 3HCl

PBN在专门设计的反应室中以高于1800°C的温度和小于1 Torr的压力沉积在石墨基板上。然后将PBN释放成独立的模制形式,或保留为石墨基材上的薄层,高度取向的结晶PBN涂层。该薄层类似于晶体形式的热解石墨,由层状六方氮化硼组成。

PBN特性:

  • 高纯度
  • 高成分均匀性
  • 壁厚均匀(周向)
  • 厚度可轻松调节(轴向)
  • 优异的耐久性
  • 高温和真空下的放气最少
  • 无毒

PBN属性:

机械性能

PBN具有很高的抗张强度。由于其随温度升高而增加强度的特殊特性,它非常适合在高温范围内使用。

热性能:

pbn2PBN的导热性非常好,各向异性高。 “ a”方向的电导率比“ c”方向的电导率高约20倍。这种高各向异性的秘密在于PBN的层状结构。

电性能:

PBN的电阻率高且各向异性。在这方面,PBN与作为良好电导体的石墨有很大不同。 PBN是一种出色的高温绝缘材料。

化学性质:

PBN具有化学稳定性且无毒。它具有抗氧化性,而几乎无法检测到杂质。 Shin-Etsu的CVD工艺在高温,减压下进行,能够生产出杂质含量极低的PBN。 PBN不与金属,玻璃和III-V化合物反应。它还能够承受与快速加热或淬火相关的冲击。

不纯 浓度 测试方法
N.D. I.C.P.
N.D. I.C.P.
有限公司 N.D. I.C.P.
N.D. I.C.P.
N.D. I.C.P.
N.D. I.C.P.
N.D. I.C.P.
N.D. 无焰原子吸收
N.D. I.C.P.

PBN应用程序:

PBN 坩埚and Boats:

对于薄膜太阳能电池设备制造,信越公司现在提供定制的PBN坩埚(热解氮化硼),舟皿和其他用于铜,铟,镓和硒化物(CIGS)膜沉积工艺的产品。 PBN坩埚涂覆的石墨和纯PBN零件都具有高纯度和稳定性,并且放气非常有限。这些PBN坩埚具有很高的耐热性和耐热冲击性,并具有出色的隔热性。 PBN坩埚(热解氮化硼)化学稳定且无毒。它们还具有抗氧化性,而几乎无法检测到杂质。

Shin-Etsu还提供PBN / PG(热解石墨)加热器和PBN涂层的石墨加热器,以满足特定的太阳能需求。

信越MicroSi的PBN(热解氮化硼)性能包括在高温下具有出色的拉伸强度,化学惰性,高纯度,出色的导热性和高电阻率。 PBN除了是理想的坩埚和舟皿,用于半导体中使用的III-V化合物的晶体生长外,PBN还用于电子行业的许多其他应用中。

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这些包括:

  • 坩埚,餐具
  • 船,托盘
  • 电绝缘子
  • 石墨涂料
  • 红外窗户
  • 炉组件
  • 蒸发锅
  • 喷嘴,管道,杆
  • 绝热体
  • 硼掺杂剂

产品规格和尺寸:

PBN数据表(1.42MB)

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