自1926年成立以来，信越化学公司已成为开发和制造多种类型的塑料树脂的全球领导者。这些包括硅，甲基纤维素和聚氯乙烯。我们已经成为半导体硅，合成石英和GGG（ga镓石榴石）的全球领先供应商之一。信越的名字因其为不断发展的高科技行业制造和提供一系列高纯度，高精度和高性能产品的能力而享誉全球。最近，我们推出了一条新的热解氮化硼（PBN）材料系列，包括坩埚，船，棒，晶片，板，管和石墨涂层。

这种高纯度陶瓷在高温下具有出色的耐化学性和强度。 信越MicroSi的PBN是通过专有的化学气相沉积（CVD）工艺制造的，该工艺会产生以下反应：

BCl3 + NH3àBN + 3HCl

PBN在专门设计的反应室中以高于1800°C的温度和小于1 Torr的压力沉积在石墨基板上。然后将PBN释放成独立的模制形式，或保留为石墨基材上的薄层，高度取向的结晶PBN涂层。该薄层类似于晶体形式的热解石墨，由层状六方氮化硼组成。

PBN特性：

• 高纯度
• 高成分均匀性
• 壁厚均匀（周向）
• 厚度可轻松调节（轴向）
• 优异的耐久性
• 高温和真空下的放气最少
• 无毒

PBN属性：

机械性能

PBN具有很高的抗张强度。由于其随温度升高而增加强度的特殊特性，它非常适合在高温范围内使用。

热性能：

PBN的导热性非常好，各向异性高。 “ a”方向的电导率比“ c”方向的电导率高约20倍。这种高各向异性的秘密在于PBN的层状结构。

电性能：

PBN的电阻率高且各向异性。在这方面，PBN与作为良好电导体的石墨有很大不同。 PBN是一种出色的高温绝缘材料。

化学性质：

PBN具有化学稳定性且无毒。它具有抗氧化性，而几乎无法检测到杂质。 Shin-Etsu的CVD工艺在高温，减压下进行，能够生产出杂质含量极低的PBN。 PBN不与金属，玻璃和III-V化合物反应。它还能够承受与快速加热或淬火相关的冲击。

PBN应用程序：

PBN 坩埚and Boats:

对于薄膜太阳能电池设备制造，信越公司现在提供定制的PBN坩埚（热解氮化硼），舟皿和其他用于铜，铟，镓和硒化物（CIGS）膜沉积工艺的产品。 PBN坩埚涂覆的石墨和纯PBN零件都具有高纯度和稳定性，并且放气非常有限。这些PBN坩埚具有很高的耐热性和耐热冲击性，并具有出色的隔热性。 PBN坩埚（热解氮化硼）化学稳定且无毒。它们还具有抗氧化性，而几乎无法检测到杂质。

Shin-Etsu还提供PBN / PG（热解石墨）加热器和PBN涂层的石墨加热器，以满足特定的太阳能需求。

信越MicroSi的PBN（热解氮化硼）性能包括在高温下具有出色的拉伸强度，化学惰性，高纯度，出色的导热性和高电阻率。 PBN除了是理想的坩埚和舟皿，用于半导体中使用的III-V化合物的晶体生长外，PBN还用于电子行业的许多其他应用中。

这些包括：

产品规格和尺寸：

PBN数据表（1.42MB）