深紫外光致搜球吧直播nba直播
Shin-Etsu不断增加我们的光刻胶产品线；请打开“深紫外线路线图”（PDF 115KB）以检查我们的前进方向。
信越MicroSi的SAIL–G系列提供：
高分辨率性能
- 110毫米孔; 0.7-0.8um自由度@ 0.68NA& Ann. Ill
- 120mm孔; 0.3-0.4um自由度@ 0.68NA& conv. Ill
- 80毫米孔; 0.25um自由度@ 0.85NA&安病态G28（染色）针对薄膜工艺进行了优化
耐腐蚀
- 蚀刻速度：与248搜球吧直播nba直播相同
- 蚀刻后粗糙度：优于248的搜球吧直播nba直播在热流下仍然更光滑
可用热流
- 达到100-90mm孔，自由度100mm孔>0.5um @0.68NA
赛尔G（790KB） 
深紫外线（345KB）
赛尔-X108（151KB）
赛尔-KrF（262KB）
DUV专业应用
信越MicroSi为特殊应用提供厚和薄的248nm准分子DUV搜球吧直播nba直播。这些深紫外光阻剂可配制成超高分辨率或极高的纵横比。
SEPR I032
信越MicroSi的SEPR I032 DUV搜球吧直播nba直播专为高分辨率，直侧壁轮廓而设计，在4 µm厚的UV光刻胶中，印刷能力小于250 nm的隔离沟槽和半密集线。这种紫外线光致搜球吧直播nba直播广泛用于TFH工业中的NiFe和Cu基板。
SEPR I032（203KB）
SEPR I051
信越MicroSi的SEPR I801 / I803 DUV光刻胶具有极高的分辨率，在300nm薄膜UV光刻胶中具有小于65nm的隔离线和密集线的印刷能力。这种紫外线光致搜球吧直播nba直播被广泛用于半导体和TFH读取器应用中，这些应用要求在深紫外线，干法蚀刻环境中具有高度复杂的耐蚀刻性。
SEPR I051铜（251KB）
SEPR I051镍铁（956KB）
SEPR I803（408KB）
SEPR I803D和SEPR-I801（111KB）
