深紫外光致搜球吧直播nba直播

Shin-Etsu不断增加我们的光刻胶产品线;请打开“深紫外线路线图”(PDF 115KB)以检查我们的前进方向。

信越MicroSi的SAIL–G系列提供:

高分辨率性能

  • 110毫米孔; 0.7-0.8um自由度@ 0.68NA& Ann. Ill
  • 120mm孔; 0.3-0.4um自由度@ 0.68NA& conv. Ill
  • 80毫米孔; 0.25um自由度@ 0.85NA&安病态G28(染色)针对薄膜工艺进行了优化

耐腐蚀

  • 蚀刻速度:与248搜球吧直播nba直播相同
  • 蚀刻后粗糙度:优于248的搜球吧直播nba直播在热流下仍然更光滑

可用热流

  • 达到100-90mm孔,自由度100mm孔>0.5um @0.68NA

赛尔G(790KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

深紫外线(345KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

赛尔-X108(151KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

赛尔-KrF(262KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

DUV专业应用

信越MicroSi为特殊应用提供厚和薄的248nm准分子DUV搜球吧直播nba直播。这些深紫外光阻剂可配制成超高分辨率或极高的纵横比。

SEPR I032

信越MicroSi的SEPR I032 DUV搜球吧直播nba直播专为高分辨率,直侧壁轮廓而设计,在4 µm厚的UV光刻胶中,印刷能力小于250 nm的隔离沟槽和半密集线。这种紫外线光致搜球吧直播nba直播广泛用于TFH工业中的NiFe和Cu基板。

SEPR I032(203KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

SEPR I051

信越MicroSi的SEPR I801 / I803 DUV光刻胶具有极高的分辨率,在300nm薄膜UV光刻胶中具有小于65nm的隔离线和密集线的印刷能力。这种紫外线光致搜球吧直播nba直播被广泛用于半导体和TFH读取器应用中,这些应用要求在深紫外线,干法蚀刻环境中具有高度复杂的耐蚀刻性。

SEPR I051铜(251KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

SEPR I051镍铁(956KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

SEPR I803(408KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

SEPR I803D和SEPR-I801(111KB)

X
  • 从以下位置访问数据表和产品信息 信越MicroSi,只需填写表格并单击“查看”。链接将被启用。

 

COVID-19声明:
此时,Shin-Etsu MicroSi,Inc.已打开并正常运行。我们将继续密切监视局势,并遵循公共卫生官员,疾病预防控制中心,世界卫生组织以及地方和美国政府的指导,迅速采取行动以采取适当的预防措施。我们可能会调整正常的操作程序以支持社会疏离准则。我们将继续向您通报任何进展。