什么是MEMS技术?

微机电系统(MEMS)技术是一种采用微制造技术来集成机械和机电元素的设备。这些设备的尺寸可以小于一微米或大至几毫米。 MEMS在系统中的使用范围很广,从少数几个没有移动部件的简单结构到数百万个具有众多移动元件的高度复杂的机电结构。

半导体制造工业通过在集成电路工业中使用的微制造技术的基础上发展了MEMS技术。除了集成电路技术外,MEMS还使用微机械加工工艺来蚀刻出特定目标的晶圆部分,例如硅或石英晶圆,或添加创建机械和机电组件(例如梁,齿轮和弹簧)所需的结构层。借助MEMS,系统能够使用机械元件在微尺度上感测,控制和启动机械过程,并单独或组合运行以在宏观尺度上产生效果。

为了使MEMS生产出可以转化为多种应用的高度通用的技术,它们高度依赖于纳米压印技术,纳米压印技术提供了将原子或分子级材料操纵为纳米尺寸材料的能力。尽管MEMS和纳米压印技术被认为是两种截然不同的技术形式,但它们各自相互依赖,以实现最准确的性能。 MEMS依靠纳米压印技术来创建市场上的当前产品,并且随着纳米压印技术的发展,将来可以继续添加其他产品。

未来,随着技术的进步,预计MEMS将实现更高水平的集成复杂性,从而在制造和设计方面提供几乎无限的能力。任何种类的微传感器或微处理机都将不仅可以与微电子技术相融合,而且还可以与光子学,纳米压印技术等在单个基板上融合。

在ShinEtsu MicroSi,我们始终处于对半导体制造行业的表现至关重要的最新技术之上。随着新的纳米压印技术和MEMS技术的发展,我们将迅速适应为客户提供行业必须提供的最新技术。目前,信越MicroSi致力于使用纳米压印技术开发设备,因为我们知道它们对于我们行业的成功至关重要。我们还为客户提供一系列石英基板,这是用于纳米压印模板的最佳材料。有关我们的产品和服务的更多信息,请致电(480)893-8898致电Shin-Etsu MicroSi或 在线联系我们 .