薄膜分束器

薄膜分束器是非常薄的轻质聚合物膜,可以在平坦的铝框架上拉伸和粘合。由于薄膜很薄,因此消除了来自二次反射的图像。除此功能外,防护膜技术还具有抗机械冲击和气候变化的功能,并且具有多种波长的多功能性。这些功能是需要分束器的系统可能希望利用的功能,因此,为了使其更容易,防护膜分束器在框架下方包括安装孔,以便于集成。

高质量的防护膜可以是未涂层的也可以是涂层的,以产生各种应用所需的一系列反射。未镀膜的优质防护膜的反射率约为8%,非常适合光束采样等应用。与未镀膜的防护膜技术相反,镀膜的优质防护膜可产生相同的反射率,并能在很宽的反射率范围内透射。

尽管高质量的防护膜确实为半导体制造工艺带来了很多好处,但它们却是一项精致的技术,但确实会带来一些损失。以下是与薄膜分束器集成有关的几件事情:

  • 震动 。防护膜束的厚度虽然为半导体工艺提供了许多好处,但也会对膜造成负面影响。薄的防护薄膜束在任何数量的处理过程中都容易振动,从而导致膜响起。为避免振动问题,应使用立柱或木块将防护膜安装到光学平台上。
  • 干扰 。薄膜的薄度会导致表面之间的单色干涉,从而在光束中产生条纹​​。薄度还会导致基于波长的分光比出现正弦振荡,并会迅速变化,从而产生明显的效果。
  • 精致的 。聚合物膜在铝框架上拉伸,产生非常细腻的表面。因此,无法触摸防护膜分束器,因为很容易损坏光学元件。

只要您知道防护膜分束器的约束(例如上面列出的约束),并在这些约束内谨慎工作,您就可以在半导体制造过程中获得使用高质量防护膜的好处。

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