多层加工

搜球吧直播nba直播行业是一个发展迅速的行业,因此搜球吧直播nba直播供应商一直面临挑战。多年来,技术进步已导致芯片尺寸的定期减小,这意味着搜球吧直播nba直播供应商不得不开发解决方案以缩小表面尺寸,以缩小特征尺寸。

尽管这些较小的芯片可以提高性能,但它们并非没有缺点。特征的小尺寸经常影响光致抗蚀剂,引起诸如图案塌陷和较小的处理窗口的问题。这些看似重大的问题,但很容易解决。搜球吧直播nba直播供应商和其他业内人士已开始使用范围在60 nm至100 nm之间的更薄的光刻胶。这些薄光致抗蚀剂允许较小的芯片避免图案塌陷,并实际上以较高的水平运行,这正是它们最初设计的目的。

然而,对于薄光致抗蚀剂,搜球吧直播nba直播供应商面临另一个问题。较薄的光致抗蚀剂可在将图案施加到基板上时减少蚀刻预算,这意味着必须找到一种解决方案以正确施加图案。为此,工业已转向多层加工。该工艺采用了薄的光刻胶,并将其与无机硬掩模结合在一起,无机硬掩模是使用多层堆叠有效施加图案的基本材料。使用两种多层堆叠方法之一施加光致抗蚀剂和硬掩模:化学气相沉积(CVD)或旋涂。

两种方法都依赖于硬掩模的高度无机材料,而硬掩模实际上需要更薄的光刻胶。这种无机材料可带来更好的性能水平,包括更高的等离子体蚀刻速度和图案分辨率。为了最有效地工作,硬掩模层还必须包含高含量的碳,因为这对于在无机基材上进行高质量蚀刻至关重要。

虽然CVD和旋涂都是搜球吧直播nba直播行业经常使用的好方法,但旋涂被认为是两者中较容易的工艺。 CVD要求将每个晶片转移到另一个模块,同时旋涂将整个多层堆叠叠放并立即放入涂层模块中。两种工艺都能很好地工作,并且取决于搜球吧直播nba直播制造商的偏好。

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