熔融石英

熔融石英是一种玻璃,与传统玻璃相比,石英玻璃的差异很大,它完全由高纯度二氧化硅组成。没有向二氧化硅中添加其他成分来降低熔融温度,这意味着熔融石英比大多数其他玻璃具有更高的工作温度。由于其在高温下的稳定性以及高纯度,熔融石英在半导体制造行业中通常用于加工石英晶片并制造合成石英光掩模。

熔融合成石英玻璃用于半导体制造,使用的是纯天然结晶二氧化硅,例如沙子或岩石晶体。使用电加热炉(在此情况下会生产电熔石英)或气体加热炉(会在其中生产火焰熔凝石英)熔化二氧化硅。两种方法都在约2000摄氏度的高温下熔融二氧化硅。在该过程结束时,将创建透明或不透明的熔融石英。

熔融合成石英不仅在半导体制造业中使用,而且由于其高度有益的特性而在众多其他行业中使用:

  • 硬度
  • 磁导率
  • 低热膨胀
  • 高温下的稳定性
  • 化学纯度高
  • 高耐腐蚀性
  • 电气绝缘
  • 大光谱范围内的光学透明度

上述特性使熔融合成石英玻璃成为半导体制造业中许多应用的绝佳材料。高纯度,强度,低热膨胀性和透明性特别有益。使用合成石英玻璃,半导体行业能够生产材料,例如用于光刻的合成石英光掩模以及用于制造的石英晶片。

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