增强对比度的好处

对比增强材料或CEM是一种可光漂白的材料,先涂在光致抗蚀剂表面,然后用去离子水预湿除去。使用对比度增强材料有很多好处。首先,如果对比度增强材料与曝光参数正确匹配,它们将在到达抗蚀剂表面之前吸收来自黑暗区域中散射光的光。结果,垂直侧壁会更直,并且消除了特征顶部的倒圆角或尖锐边缘。对比度增强材料增加了可以到达光刻胶的照明的对比度。它具有简单或低缺陷的工艺,可以将焦点深度增加20-40%。对比度增强材料可以延长分辨率极限,甚至可以延长曝光工具的使用寿命。它减少了返工并提高了产量。

皮层

半导体集成电路的所有内容都容易受到灰尘和空气中任何微粒物质的破坏。 皮层 为满足洁净室中所有物品无尘的需求而研发的产品。薄膜是1毫米厚的聚合物膜。在集成电路的光刻复制期间,它们起到防止光掩模表面上的灰尘颗粒成像到涂覆有光致抗蚀剂的石英晶片中的作用。存在多种防护等级,其中一些防护等级用于KRF,某些防护等级用于干式ARF,另一些防护等级用于浸没ARF准分子激光光刻。薄膜可延长各种电子材料的使用寿命,而薄膜可确保光掩模和标线的使用寿命增加。

石英晶片

随着LCD面板在越来越多的设备中使用,LCD面板中对更大尺寸和更精细图像的需求也增加了。但是屏幕越大,需要的元素就越多。而且,这些元素之间的距离必须更近:彼此之间的距离不得超过10微米。单一材料对尺寸,高分辨率和清晰度的这种要求给工程师带来了挑战。的 石英晶片 晶体必须高精度制造,并且是对更大,更精细的LCD面板显示器的需求的最佳答案。选择的材料是合成石英晶片。合成石英晶片具有出色的耐热性和透光性。它是一种高级合成产品,因此没有气泡和异物。合成石英的热膨胀性低于普通玻璃,但在从紫外线到红外区域的整个波长范围内,渗透率都很高。