光罩& 皮层

信越MicroSi是用于集成电路的合成光掩模石英基板,用于LCD的合成大型光掩模石英基板以及用于Arf和Krf光刻胶的衰减相移掩模的顶级制造商。二十多年来,我们一直提供稳定优质的石英基板供应。现在,合成石英晶片的直径最大为300mm,可满足客户的广泛要求。

MicroSi的光刻部门还专门生产由先进的钼硅二元材料制成的各种OMOG(玻璃上不透明MoSi)光掩模坯料,该材料提供了卓越的遮光保护,以及用于制作所需的抗蚀剂工艺中的衰减相移掩模ArF,KrF和F2光刻胶。

凭借我们在各种电子材料的设计和制造中开发的技术专长,信越提供了用于防护膜光罩的极高质量防护膜。

光掩模坯料是光掩模的基础材料,其在半导体光刻工艺期间用作电路的图案化模板。遮光层形成在基板为合成石英的掩模坯料的表面上。